МЕТОДИКА НЕРУЙНІВНОГО БАГАТОКРАТНОГО ЛАЗЕРНОГО ОПРОМІНЕННЯ ТОНКИХ МЕТАЛЕВИХ ПЛІВОК НА СКЛЯНІЙ ПІДКЛАДЦІ
DOI:
https://doi.org/10.20535/2519-450x.6.2015.63275Анотація
Однією з переваг поверхневої лазерної обробки матеріалів є можливість одержання локальних областей з заданими властивостями, в тому числі електричними. В якості об’єкта дослідження була обрана тонка плівка Cr, яка застосовується в приладобудуванні та мікроелектроніці.
Нанесення плівки хрому на скляну підкладку здійснювали з використанням методу електронно-променевого напилення. Товщина
шару хрому складала 400 нм. Обробка здійснювалась багаторазовим імпульсним лазерним опромінюванням плівки Cr на скляній підкладці. Для формування топології плівкових елементів був застосований метод масок (Рис.1).
Рисунок 1. Плівкові елементи Cr на склі, нанесені методом вакуумного напилення
Реєстрація параметрів імпульсів, згенерованих оптичним квантовим генератором ГОС-301 на неодимовому склі, яка дозволяє контролювати густину потужності в опромінюваній області, відбувалась в реальному часі за допомогою цифрового запам’ятовуючого осцилографа VDS 1022 та твердотільного вимірювача ИКТ-1Н.
З рис.2 видно, що тонка структура імпульсу складається з багатьох коротких пічків тривалістю 10-9 - 10-7 с. Тривалість самого імпульсу , амплітуда .
Рисунок 2. Візуалізація імпульсу вільної генерації програмним забезпеченням OWON
Інтегральний рівень енергії випромінювання виміряний калориметричним методом і складає . Для оптичної схеми експериментальної установки було проведено розрахунок енергії, що потрапляє на зразок, з урахуванням втрат на розсіяння та відбиття в оптичних елементах.
Дослідження зміни електроопору від кількості разів опромінювання показали, що опір збільшився від ρ0= 509 Ом в початковому стані (після напилення плівки) до значення ρ = 700 Ом, після досягнення якого залишається майже незмінним. Такі результати відповідають густині потужності лазерного пучка .
Оскільки імпульсна обробка відбувалась на повітрі (в окисному середовищі), то імовірно відбулися процеси окислення і рекристалізації. Збільшення опору в нашому випадку свідчить про переважання окисних процесів.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2016 Нові матеріали і технології в машинобудуванні
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Етика автора:
- Автор (або колектив авторів) несе (чи) відповідальність за новизну і достовірність результатів наукового дослідження. Автори статті повинні надавати достовірні результати проведених досліджень. Завідомо неправдиві або сфальсифіковані затвердження неприйнятні.
- Автори повинні гарантувати, що результати дослідження, викладені в поданій рукописи, повністю оригінальні.
- Запозичені фрагменти або твердження повинні бути оформлені з обов'язковим зазначенням автора та першоджерела.
- Неетичні і неприйнятні надмірні запозичення, а також плагіат в будь-яких формах, включаючи неоформлені цитати, перефразування або привласнення прав на результати чужих досліджень.
- Необхідно визнавати внесок всіх осіб, так чи інакше вплинули на хід дослідження, зокрема, в статті повинні бути представлені посилання на роботи, які мали значення при проведенні дослідження.
- Співавторами статті повинні бути вказані всі особи, які внесли істотний внесок у проведення дослідження.
- Автори не повинні надавати в журнал рукопис, яка була відправлена в інший журнал і знаходиться на розгляді, а також статтю, вже опубліковану в іншому виданні.
Етика редакції:
- Редакція несе відповідальність за оприлюднення авторських творів. При прийнятті рішення про публікацію редактор журналу керується достовірністю представлення даних і наукової значимістю даної роботи.
- Редактор повинен оцінювати інтелектуальний зміст рукописів. Виходячи з принципів конфіденційності неопубліковані дані, отримані з представлених до розгляду рукописів, не повинні використовуватися для особистих цілей або передаватися третім особам без письмової згоди автора.
- Редактор не повинен допускати до опублікування інформацію, якщо є достатньо підстав вважати, що вона є плагіатом.
Етика публікацій:
Журнал є виданням відкритого доступу. Всі статті вільні для перегляду, читання, завантаження та друку.
Матеріали приймаються українською, російською або англійською мовами і відповідно публікуються мовою оригіналу.
